二手 ASTEX AX 8403A #9092833 待售
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已售出
ID: 9092833
Ozone generator
Max. Ozone Output: 160 g/hr
Flow Range: 5 to 20 slm
CE Marked
208V, 3 Ph, 50/60 Hz, 20A.
ASTEX AX 8403A是为最先进的晶圆制造工艺而设计的最先进的晶圆加工设备。该系统非常适合各种特殊的晶圆制造需要。凭借出色的设计和构造,ASTEX AX 8403 A可以同时执行几项任务并达到确切的规格。该装置采用创新的喷嘴设计,可执行蚀刻、沉积、剥离晶片表面等工艺。这是一个允许更轻松、更精确操作的功能。喷嘴设计还允许提高晶圆移动的精度。AX 8403A还提供了一个自动晶圆处理选项,允许精确控制蚀刻过程。自动选项的工作原理非常类似于机械臂,允许自动控制晶片在腔室中的放置和晶片的处理。这一特性使得在制造过程中更容易移动和操纵晶片。AX 8403 A还具有一个集成的加热和冷却阶段与一个集成的温度控制机.这种集成工具确保晶圆的温度被控制并保持在适当的范围内。集成的温度控制资产有助于确保晶圆在制造过程中不会损坏。ASTEX AX 8403A还具有高分辨率成像模型,可以精确测量晶圆表面的各种特征。这种成像设备使得可以对晶圆表面进行详细的测量,如晶圆的厚度、表面的倾斜度、晶圆的表面积等。ASTEX AX 8403 A还包括一套多功能晶片处理臂,允许晶片在加工室内移动。这一功能使AX 8403A成为一个非常通用的处理系统。AX 8403 A的核心是一个强大而可靠的运动控制单元。这种运动控制机用于精确处理,精确定位晶片的确切位置。这是在制造过程中实现准确性所必需的特性。ASTEX AX 8403A是一种最先进的晶圆加工工具,专为满足最先进的晶圆制造需求而设计。该设备具有令人印象深刻的喷嘴设计、自动晶片处理选项、集成的加热和冷却级、高分辨率成像资产以及强大可靠的运动控制模型,非常适合各种特殊晶片制造需求。
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