二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT 9700 #9228052 待售

ID: 9228052
Batch cleaner Power requirements: 208/230 V, Single phase, 50/60 Hz, 20 A.
AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700是一种为一系列半导体应用而设计的多合一晶圆处理设备。该系统的设计是可扩展的,每个单元的晶圆数量最多为9个。此外,它还拥有一台先进的生产控制机器,可以为不同类型的晶圆提供个性化的产品。该工具包括处理高温epi-ready晶片的能力,适用于多种应用,包括射频纸和基板级应用。在晶片加载方面,AAT 9700提供了全帧和半帧晶片的精确、自动装卸,具有满足现代生产工艺要求所需的自动化程度。该资产具有高度灵活的体系结构和工业级组件的可靠使用,能够进行多腔、多步晶圆处理。晶圆可以直接加载到模型中,或者用已经加载的晶圆容器加工到集成加热炉中。对于样品加热,AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY 9700通过一个或多个腔室加热炉提供精确的温度控制,能够达到高达1500摄氏度的温度。炉内的温度均匀性可以保持,用自给自足的气体管线来净化空气,以避免污染。其他功能包括气体切换系统和安全系统,以防止意外暴露在炎热的环境中。在过程控制和监测方面,9700有若干集成软件系统,可用于设备的配置和管理。其中包括一个基于软件和硬件的集成系统,用于计算机控制晶圆处理的所有方面。这包括所有生产过程的自动化以及记录质量控制和维护所需的信息。在单位一级,机器能够在早期阶段诊断出过程中的任何潜在错误。最后,AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700提供了多种附加功能和服务,所有这些功能和服务都旨在最大限度地提高用户效率。这包括远程诊断、远程访问和支持服务,以及用于更复杂操作的自定义软件编程。所有这些服务旨在为用户在晶圆处理周期中提供尽可能多的控制。总体而言,AAT 9700是一种高效可靠的工具,适用于一系列其他晶圆工艺应用。其集成的软件系统、灵活的架构和温度控制能力使其适合各种不同的应用。
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