二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C #9256486 待售

AAT Microjet D/C是针对半导体应用需求量身定制的综合性晶圆处理设备。它是一个创新的集成系统，允许在硅或复合半导体器件的生产中实现最大的正常运行时间和效率。该单元配备了先进的工艺工具，包括自旋涂料、蚀刻器和烘干机，允许在晶圆加工之前、之中和之后广泛的沉积和固化顺应性。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet D/C利用先进的专利MicroJet技术在晶片上沉积和固化薄膜时达到了无与伦比的精度水平。这项技术提供了一个非常均匀的厚度-薄至500 nm-具有均匀、高质量的电介质层。此外，可喷射气流使晶圆边缘的薄膜均匀性最大化，使颗粒污染最小化。该机还提供了一个综合工艺控制套件，用于优化晶圆处理。该套件允许操作员监控关键性能指标，优化不同类型晶片的沉积流速，保证气流均匀性，查看实时膜质量信息。该套件还促进了多种串联分析工具的集成，以实现更好的控制和可追踪性。这些分析工具包括光谱仪、粒子计数器、FTIR和拉曼光谱仪。此外，该工具采用内置废物处理资产、发电机和空气洗涤器，保持严格的环境标准。废物处理模式确保危险材料的安全处置，而发电机和空气洗涤器则确保设备符合区域排放条例。总体而言，AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet D/C是一个全面、可靠的解决方桉，用于高效、高效的晶圆处理。先进的工艺工具、全面的工艺控制套件、严格的环境标准，都保证了所有使用该系统加工的晶片保持质量，遵守安全法规。