二手 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet EC #9016322 待售

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet EC是一种精密晶圆处理设备，设计用于快速精确的半导体处理。该系统采用独特的"射流边缘"功能，即流体射流装置，可以精确清洁、蚀刻或沉积晶片而不会损坏晶片。射流边缘技术以高压氧气或氮气为驱动力，实现晶圆非常精确的清洁、蚀刻和沉积。这台机器能够非常精确地沉积、清洁和蚀刻晶片，而不会损坏其表面，这要归功于喷嘴上的可变焦平面调整。AAT Microjet EC工具可以处理一系列晶圆尺寸，从4"到8"，最大晶圆厚度为6毫米。该资产支持在射流边缘过程中同时使用氮气和氧气，允许用户为不同的任务设定沉积速率、蚀刻速率和清洁能力。该模型还包括一个污染物监控器，这有助于确保晶圆的处理干净，不会造成损坏或污染物。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet EC设备有三大部件：泵、喷嘴组件和控制。泵可使高压氮气和氧气指向喷嘴。喷嘴组件采用可调焦平面调节装置，可从控制上调节，提高晶圆蚀刻和清洗精度。控件包括进纸器、控制器和气线。进纸器充当电源控制器,而控制器执行精确的速度控制和定时。空气管线向喷嘴输送气压并控制其方向，同时允许进行气压和喷嘴角度测试。Microjet EC系统提供了一种非常精确和高效的方法来清洁、蚀刻和沉积晶片,从而减少晶片损坏和周转时间。其可变焦平面调整确保了蚀刻和清洁的准确性，而污染物监测器则确保了清洁。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet EC是任何需要精确处理的半导体产品的绝佳解决方桉。