二手 BRANSON 1510 #9137099 待售

BRANSON 1510是一种最先进的晶圆加工设备，用于从光刻和晶圆染色到退火和研磨等多种应用。1510借助运动控制、计算机控制光学系统和力反馈技术的最新进展，提供了高精度、高吞吐量、卓越可重复性等多种优势。该系统设计有高速15英寸双轴线性伺服电机、完全集成的运动控制单元和高精度平面测量机（PMST）。这样可确保处理过程中的精确精度和可重复性,以及高吞吐量。BRANSON 1510能够微观操纵到1 μ m的分辨率,并提供高速的即时补偿。除了精确的定位之外,1510还通过其独特的模块化设计提供了处理过程中的灵活性。该工具具有增加平坦步进器或旋转级的能力，能够执行各种任务，包括精细掺杂、金属沉积、光刻、电晶片探测、蚀刻和晶片研磨。这一资产还提供了大量生产晶片的高重复速率，消除了额外检查的需要，减少了浪费。BRANSON 1510配备了多个操作员的工作站选项，包括基于Windows的PC模型和图形用户界面（GUI），方便导航。通过局域网连接,1510可以轻松集成到现有的生产网络和其他机器中。为了增加便利，该设备与多种类型的外围设备相容，如电离器、液压填充器和视觉系统。BRANSON 1510还能够进行先进的测量、温度和湿度控制。这样可以对晶片进行热处理,而且损坏最小。该系统还拥有庞大的涂抹、蚀刻、研磨、清洁、涂层等多种晶圆加工技术的配方库。为了安全起见,1510采用了膜安全面板和多个冗余安全功能。该设备可扩展用于将来的升级和修改,所需消耗品更少,维护方便。BRANSON 1510非常适合任何需要在高通量环境中进行准确且可重复的晶圆处理的应用。