二手 BRANSON 3510R-DTH #293627287 待售

BRANSON 3510R-DTH是为微电子清洁应用而设计的先进湿化晶片加工设备。该系统非常适合后磨、低k蚀刻和SiNx剥离、模片和晶片清洗、表面制备和翻转芯片钝化。它具有革命性的DTH（DeepTrack Heated）功能，利用专利旋风技术，以无与伦比的效率从边缘到边缘、从上到下清洁整个基板。3510R-DTH是一个可升级的单元，有两个热室、两个真空室和一个闭环化学输送机。两个热室各可容纳60个晶圆,可承受高达400°C的温度。这样可以处理各种各样的基材，包括Si、GaAs、InP和SOI。该工具设计用于在任何热过程中对每个晶片进行最佳的温度-时间轮廓控制。2个真空室的400L容量很大，可以达到<10-8 torr的压力。这样可以确保最大程度地从腔室排出。封闭式化学输送资产是为完全控制所使用的化学物质和浓度而设计的。这允许用户以最大的效率调节各种过程所需的特定化学。DeepTrack加热（DTH）功能在晶圆处理过程中利用由热室创建的差分温度曲线。这产生了强大的旋风效应，并确保了均匀的底物覆盖，没有残留物。这是低k蚀刻和背面研磨应用的理想选择。此外,BRANSON 3510R-DTH附带了一个可定制的软件包,使用户可以快速轻松地调整流程参数。此软件还允许对模型进行完整的诊断控制,并允许用户在处理过程中知道每个晶片的状态。3510R-DTH是当今市场上最先进的湿化学晶片加工系统之一。它具有2个热室、2个真空室和革命性的DTH特性，在清洁、蚀刻和表面制备方面提供了前所未有的控制和效率。它的可自定义软件包提供了对各种工艺参数的快速轻松控制,以及对设备的完整诊断控制。该系统是微电子清洁应用的理想之选，凭借其先进的功能，一定能彻底改变行业。