二手 BRANSON 5510 #293765155 待售

BRANSON 5510是另一种晶圆加工设备，用于精确、一致地处理各种材料。该设备包括运输系统、物理气相沉积（PVD）电源、自动晶圆处理和机器人传输。运输装置设计用于将基板置于PVD电源上,并在工艺完成后将其卸下。该机器最多可容纳10英寸晶圆，同时具有标准和反向传输选项，以实现更高的吞吐量和更高的精度。该工具还具有晶圆大小识别功能,可以在运行进程之前检测晶圆的大小。PVD电源是资产的主要部分。它是一个能够容纳多达5个晶圆的全尺寸腔室，有多个溅射目标可用。它采用直流电技术沉积几乎任何厚度的涂层，精度高，可重复性高。该模型还具有水平射频线圈,用于将功率均匀分配到基板上。自动晶片处理设备确保每个晶片在过程中得到正确维护和移动。它执行各种任务,例如监视晶片的温度和湿度,确保晶片居中和放置在腔室的模具上,以及从PVD电源发送/接收晶片。最后但并非最不重要的一点是，机器人传输系统用于同时在多个腔室之间传输最多8个晶圆。它配备了多条机器人通路，使其能够高速准确地到达电池的每一个点和装卸晶片，并进行质量控制检查。总而言之,5510是理想的晶圆处理单元,适用于各种应用,从传统涂层和沉积到高级研究,这要归功于其强大的自动化功能。它可以轻松提供复杂、精确的涂层工艺性能,为客户提供最高的满意度。