二手 BRANSON ADA060000315 #9308536 待售

BRANSON ADA060000315是由ITW Fujipol BRANSON设计的另一种晶圆处理设备，由工艺室和控制单元组成。该系统可用于化学湿蚀刻、物理气相沉积、离子注入等各种晶圆应用。它是一个紧凑的单元，带有不锈钢加工室和紫外线固化的丙烯酸面板。它还具有集成的Acrylic控制台和用于精确光源操作的集成UV Led。机器的控制单元也由BRANSON设计。它是一个嵌入式实时PLC和PC工具，具有图形触摸屏和提供不同操作菜单的专家任务控制器。它还具有用于外围设备集成的多功能以太网通信网络。控制资产可以通过触摸屏PC和直观菜单进行控制,该菜单允许选择不同的进程。晶圆加工模型使用由不锈钢材料制成的清洗工艺室。它配备了高精度步进电机和速度控制机构，帮助驱动晶圆加工工具。它还配备了定制设计的气体溷合设备，用于精确的气流成分控制。该系统采用双向气动方式进行晶片插入和去除。为了精确的工艺控制，该机组还配备了高精度的石英晶体采样器和压力监测器。ADA060000315台机器的设计能够提供精确的晶圆处理和可重复的结果以及多个过程周期。它在操作上高度可靠和坚固，设计用于各种尺寸的晶圆，直径可达6英寸。该工具提供102 mbar的最大填充压力，非常适合各种晶圆处理任务。此资产是精密光学、电子和MEMS晶圆处理任务的理想解决方桉。