二手 BRANSON B8200R-4 #170892 待售
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BRANSON B8200R-4是晶片加工的工艺设备,具有最先进的元件,包括旋转卡盘、先进的晶片处理技术、先进的温度控制和卓越的工艺精度。该系统专为需要精确热和机械处理的应用而设计,包括一系列模块以满足各种应用。B8200R-4由一个以固定速度运行的旋转卡盘组成,能够容纳多达四个晶片。卡盘的旋转有助于晶片在加工过程中的加热和冷却,而卡盘和4轴平移的运动有助于确保晶片之间的温度分布均匀。温度通过基于PID的高级温度控制器进行控制,即使在最大卡盘速度下,温度也精确到± 0.2°C以内。BRANSON B8200R-4先进的晶片处理技术有助于确保晶片的精确放置和对准,无论晶片大小或厚度如何。晶片在晶片处理和传输操作过程中牢固地固定在适当的位置,防止在处理过程中意外移动或未对准。旋转卡盘允许对多个晶片进行快速、准确的顺序处理。B8200R-4单元还提供了一个可选的高级化学驻地站,可以在污染最小的情况下精确准确地输送化学过程。化学输送站设有双泵和精确的温度控制,允许以精确、安全的方式在晶片上施用试剂和酸。BRANSON B8200R-4机还包括一个可选的排气滑道,用于去除不需要的工艺副产品。排气滑道可直接连接到B8200R-4,从而安全有效地清除有毒气体和其他危险化学品。滑道还有一个预先过滤器,旨在保护工具免受潜在的污染和损坏。BRANSON B8200R-4是一种可靠可靠的资产,专为高精度晶圆处理而设计。它结合了先进的温度控制、精确的化学传递和坚固的晶圆处理,为晶圆加工提供了多种用途。该模型非常适合需要精确热和机械处理的应用,确保准确可靠的结果。
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