二手 BUEHLER 60-2499 #293649427 待售

BUEHLER 60-2499是一种全自动化的四区热氧化炉，设计用于处理超细晶片和其他细腻的基板。设备的整体设计可确保精确的温度和均匀性,从而实现最高质量的晶圆工艺。60-2499通过其精确的控制和先进的绝缘设计，设计为最大限度地提高温度稳定性和精度。该炉由四个不同的加工区组成，每个加工区都有各自独立的绝缘冷却室和排气室。该设计允许对每个区域分别进行精确控制，确保在制造的所有阶段都有一致的工艺条件。采用先进的风冷绝缘和集成冷却系统有助于降低能耗，同时提高温度稳定性。BUEHLER 60-2499还集成了先进的气体监测和过程流量控制传感器，确保了基材加工的恒定性能和重复性。60-2499能够处理直径不超过4英寸、厚度在20nm至200nm之间的晶片。它具有可调节的狭缝高度，允许在+/-2µm内精确控制狭缝高度。BUEHLER 60-2499还具有精确的沙床以确保均匀处理。包括一个熔炉用户界面（FUI）来快速、方便地设置基板参数。60-2499是满足各种晶圆加工需求的高性能热氧化装置。其精确的温度控制和先进的过程监测技术确保了任何项目的一致性和可重复性。此外，其风冷保温设计和集成式冷却机提供卓越的性能和能效。BUEHLER 60-2499具有坚固而精确的设计,是希望获得最高质量晶圆制造结果的处理器的理想工具。