二手 CREST 2800DA #9288204 待售

CREST 2800DA是一种设计用于半导体制造设施的高性能晶圆加工设备。系统配备了Delta Auto-Chamber、100 MHz时钟源和扫描晶圆臂。Delta Auto-Chamber是CREST开发的专有设备，用于处理直径达450mm的晶片。晶片在工艺室之间自动移动，进入预处理室，使工艺高效，提供快速循环时间。三炮塔式扫描晶片臂由先进的软件算法控制。这样可以将晶片定位在+/-0.8毫米的精度范围内,从而减少未对准现象并确保质量结果。2800DA在晶圆处理中有两个主要步骤。第一步，晶片进入预处理室进行清洗、底漆，并做好下一阶段的准备。第二步，晶圆通过直接喷射的方式转移到喷洒两种不同化学物质的Delta Auto-Chamber。化学物质经过精确的溷合，以均匀的方式喷洒到晶片上，得到一致的晶片质量。这一过程是完全自动化的，最多可喷洒7种化学品，同时加以组合。CREST 2800DA单元具有令人难以置信的精确度,具有微米精确度的处理分数。该机还具有真空处理功能，在过程中自动控制真空压力，以确保正确的蚀刻速度。此外,该工具还具有温度控制功能,可确保晶圆表面的加热和冷却均匀。总体而言,2800DA是一种先进的晶圆处理资产,可提供优化的性能和提高的生产率。它效率高，减少了错位，提供了精确的结果。该型号的高级特性和集成软件使其成为那些寻求高精度晶圆处理的人的理想选择。