二手 CREST DSA-150-6L2-5.7L #9125189 待售

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ID: 9125189
优质的: 2009
UV irradiation, 2009 vintage.
CREST DSA-150-6L2-5.7L是一种全自动晶片处理设备,旨在实现最高的生产率。它具有集成的光学和机械处理功能。它旨在处理各种基板尺寸和配置,包括正方形、矩形、圆形和矩形/标准。该系统能够在快速控制平台上同时处理多达六个晶片,从而提高吞吐量。使用CREST DSA-150-6L2-5.7L,晶圆浆料被加载到载波轨道上,载波轨道通过单元传输晶圆。然后机器提供了一些用于预处理和处理的功能。它利用先进的光学器件以最大的特征定义和精确的层厚度来精确地加工基材。这项工作是结合先进的光学和自动化工艺完成的,包括光学工具校准和两步基板配准。该资产还设计用于提供精确的温度和湿度控制,以优化基板表面条件和尽量减少浪费。CREST DSA-150-6L2-5.7L还具有内置的后处理站,它使用模型控制工具和手动方法的组合。该后处理站可用于蚀刻、掩蔽、密封和抛光晶片表面,以达到所需规格。该设备配有一系列防护罩,设计方便处理后清除残留物。此外,CREST DSA-150-6L2-5.7L包括集成的过程控制系统。该单元提供高级统计过程控制和数据收集功能,使操作员能够监测和控制过程和参数。这台机器可以用来优化设备的性能,以达到提高产量和可重复性。总体而言,CREST DSA-150-6L2-5.7L是一种先进的晶圆处理工具,可提供卓越的性能和效率。适用于一系列行业的应用,包括半导体、太阳能、微电子、医疗器械制造等。其集成的光学和手动后处理功能使其成为实现精确规格的理想解决方桉。
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