二手 CREST Optimum #9131750 待售

CREST Optimum是一款最先进的晶圆加工设备，旨在为硅化物制造和其他半导体应用提供最佳性能。它由一套硬件和软件系统组成，包括一个机器人工作站、一个加载锁系统和许多高级流程模块。该设备对所有晶圆制造过程提供高吞吐量、最大灵活性和精确控制,确保客户能够生产出质量和可靠性最高的产品。机器的机器人工作站构成了Optimum工具的核心。它配备了先进的自动化能力，允许在无需人工干预的情况下高速装卸晶片。此工作站可支持多达12个流程模块,用于各种应用程序,包括清洁、计量和蚀刻流程。此外,其集成的安全联锁系统保护资产的操作者免受危险情况的影响。该型号还配备了可进入与主室隔开的环境的负载锁设备。这样就可以将样品准确高效地加载到机器人工作站的室内。负载锁定系统包括一个集成真空单元以及一个惰性气体输送机，用于控制室内的大气。CREST Optimum工具还包含许多高级流程模块。其非晶硅模块可实现高通量薄膜的精确结晶,而其化学机械抛光（CMP）模块为制造应用提供超光滑表面。此外,其外延模块提供复合半导体器件的快速制造,其快速热退火（RTA）模块提供高级加热和冷却功能,从而实现高速吞吐量性能。除了硬件功能外,Optimum资产还配备了全面的软件套件,便于对模型的过程模块进行高级监控。这包括一个内置的配方管理器,允许用户为制造过程创建和存储自定义配方,以及一个流程数据采集和日志记录设备,它可以实时全面查看系统的性能。CREST Optimum单元旨在为各种晶圆处理应用程序提供最佳解决方桉,提供卓越的性能、最大的灵活性和无与伦比的精度。其功能丰富的硬件和软件系统套件改变了创建复杂半导体器件的过程，让客户以经济高效的方式取得前所未有的成果。