二手 CREST PCS-2224 #9076979 待售
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ID: 9076979
Aqueous cleaning and drying system
(8) Stations
Uses de-ionized water for cleaning
Custom designed cleaning console and a hot air drying console
Automated transfer system: moves basket and parts through cleaning system.
CREST PCS-2224是一种先进的其他晶圆加工设备,包含用于晶圆加工的功率级和射频发生器。它能够实现高精度、重复性和可靠性,同时还为用户提供了一个经济高效的精确晶圆处理和处理解决方桉。PCS-2224由两个主要组件组成:离子束扫描仪和离子植入室。离子束扫描仪具有一系列用于晶片定位的高分辨率扫描级以及用于晶片级及其相关组件的驱动系统。离子注入室是一种高精度的装置,设计用于将离子束施加到晶圆表面,以创造设备与电路和其他组件集成所必需的电气特性。CREST PCS-2224通过三轴机械手提供业界最佳的处理功能,该机械手能够处理直径不超过300 mm、重量不超过500Kg的重型晶片。它还支持四个可编程扫描段,用于精确实现植入过程,如步进重复、迭加和步进扫描。此外,该设备还配备了一个高容量的离子源,运行寿命高达1000小时,输出电流高达100μA。该装置还能够根据各种可编程参数所需的植入类型进行作用离子束电流和电压调节。为了增强设备管理,设备支持高级控制机器,允许用户操作设备并远程监视其性能。此外,该设备还提供了多种接口(如模拟和以太网),以集成到客户现有的流程控制系统和通信协议。PCS-2224还提供了高度的后处理稳定性,具有可重复性和准确性,确保能够一致、可靠地产生最佳的晶片特性。它旨在与所有主要半导体和微电子过程兼容,并遵守所有安全规范和规定。该设备还符合相关环境标准和指令以及健康和安全法规,以便用户能够保证其产品达到最高质量要求。CREST PCS-2224具有多种功能和用户友好的界面,是满足所有晶圆处理需求的理想选择。
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