二手 CRYSTAL Clean 960 TM #9301057 待售

CRYSTAL Clean 960 TM是一款革命性的晶圆处理设备，设计注重精度和可靠性。它利用先进的晶体学技术，以尽可能高的精度清洁和抛光晶片。该系统设计用于化学机械抛光（CMP）和蚀刻工艺,使其能够用于任何半导体制造工艺。该单元由一系列子系统组成，每个子系统都是模块化的，可根据客户的需求定制。机器的核心部件包括晶圆处理和对准单元、真空泵、气体沉积工具、化学机械抛光机和低温部件。这些组件协同工作,以提供最佳的清洁和抛光解决方桉。晶片处理和对准单元负责将晶片定位在腔室中，并确保晶片正确对准CMP和蚀刻过程。真空泵负责在腔室中创造低压环境，这是必要的，以防止在清洗过程中对晶片造成损坏。气体沉积资产用于控制清洁过程中氧气和其他气体在晶片上的沉积。化学机械抛光机负责晶圆表面的机械抛光。这是通过用专门设计的抛光垫磨擦晶片表面来完成的，抛光垫在晶片表面高速移动。该模型还采用了独特的低温冷却元件，冷却晶片表面，以减少损坏，提高抛光工艺的质量。总体而言,Clean 960 TM设备是一种先进的高精度晶片处理系统,旨在帮助半导体制造商节省时间和金钱,同时仍提供高标准的成品晶片。它为任何半导体制造过程提供了一个经济、可靠的解决方桉,其模块化特性使客户能够根据自己的确切需求定制其解决方桉。