二手 CRYSTAL Clean 960S #9301056 待售

CRYSTAL Clean 960S是一种独立的其他晶圆加工设备,设计用于处理各种化学品和工艺,包括ISO-1、ISO-4和UFG/UHE清洁。该系统采用热化学工艺，可实现高效清洁。单晶片单元可提供高达150°C的工作温度和一到六十秒的可调时间周期,自动控制诸如温度、时间和坡道时间等参数。机器配备了高效的物料处理工具，将晶片从负载站移至清洁室，然后从腔室移至干燥站，同时还允许中序晶片卸载。不锈钢腔室能够同时容纳多达25个晶圆，因为它是为100和200毫米晶圆直径而设计的。此外，该室采用独特的设计，由于其无振动操作和射流的引入，有利于提高温度操作和更好的清洁性能，从而产生了许多气体流，同时覆盖晶圆的所有表面。清洁960S提供了一系列功能,可确保用户安全和流程安全。每个程序最多可以记录99个流程周期,其中最多有4个配方存储在资产的内存中。该模型具有锁定机制,可防止意外更改存储的配方,而每个工作流都是机电固定的。而且，设备的自动安全阀、惯性安全锁、过滤垫、流量传感器为用户安全提供了额外的保障。从用户角度来看，CRYSTAL Clean 960S配备了符合人体工程学的触摸屏面板和直观的图形用户界面。该系统易于更换的墨盒和喷嘴便于快速、方便的清洁维护。最后,但并非最不重要的一点是,该单元获得了完整的CE认证,这意味着质量、可靠性和安全标准都超出了最低要求。