二手 DETREX VS-2000-EW #138705 待售
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ID: 138705
Vapor spray degreaser
Specifications:
Stainless construction
Spray wand
Primary cooling water
Freeboard: 100+%
Sliding covers
Freeboard chiller
Triple canister filtration
Large built-in solvent catch tray holds spill
Secondary application for cleaning tubes
Eductor and nozzles fixture
Pump system installed above boiling liquid sump
Power requirements: 240V, 3-phase, 60Hz, 63A.
DETREX VS-2000-EW是为满足半导体和微电子工业的需要而设计的晶圆处理设备。它提供了执行各种复杂处理任务的准确性、速度和可靠性。该系统采用直观的触摸屏图形用户界面，便于操作和设置。VS-2000-EW利用三轴单元在蚀刻和沉积操作中精确定位晶片。该机还配备了28位处理卡带、具有远程管理能力的先进工具控制器以及用于清洁操作的两级真空/空气过滤器资产。DETREX VS-2000-EW能够执行干湿蚀刻过程。它能够控制蚀刻速率，保护晶片不被过度蚀刻。该型号配备了自动温度控制设备，以确保整个晶片表面一致的蚀刻性能和温度均匀性。该系统还提供一系列电源和速度选项,以适应不同的处理需求。VS-2000-EW能够执行各种类型的沉积过程。它配备了4区石英管式炉，能够达到6区控制。该装置还能够利用压电进行可重复和精确的晶圆厚度控制。真空室的设计允许在大面积上均匀沉积薄膜，而石英基板支架确保精确的调整和控制。DETREX VS-2000-EW还提供了一系列其他功能，以提高晶圆处理的效率和准确性。它配备了一个智能机器控制器，以监测和减少设置和循环时间，以及一个无废物清除和清理工具，以减少交叉污染。资产还利用计算机系统跟踪处理参数和性能。综上所述，VS-2000-EW的特点使其成为各种晶圆加工操作的绝佳选择。
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