二手 DOPRAVNIK SAMSUNG LDV-150VE #293665308 待售

三星DOPRAVNIK SAMSUNG LDV-150VE是一款自动化的Other Wafer Processing设备，旨在精简和优化半导体器件的制造。它具有集成视觉系统、高精度X-Y-Z定位以及先进的过程控制功能。LDV-150VE具有稳定、精确的晶圆进给功能以及专有的晶圆传输单元。机器可以运输尺寸和重量不同的晶片基板，最大晶片尺寸可达8英寸。它还支持各种载波类型，包括全壳和微型壳载波。DOPRAVNIK SAMSUNG LDV-150VE的视觉工具是内置设备，配备高分辨率CCD相机，变焦范围从0mm到500 mm不等。其先进的视觉资产可以确保精确的对齐和对齐监测过程的一致性。除了视觉模型外，LDV-150VE还提供高精度的X-Y-Z定位，以及一系列可以精确检测晶圆基板位置的定位传感器和编码器。这使得晶圆基板的精确和可重复定位能够缩短晶圆制造过程中的循环时间。为了保证工艺参数的可调性，设备还提供了一套全面的智能工艺控制。这包括用于控制晶片基板线性和角速度的高级PID控制算法，以及用于同时控制多达四个工艺参数的PID控制单元，包括温度、压力等。总体而言，Samsung DOPRAVNIK SAMSUNG LDV-150VE是一个精密晶圆处理系统，专为支持制造商而量身定制，简化和高效制造半导体器件。其特点包括集成视觉单元、高精度X-Y-Z定位、可调工艺参数和智能工艺控制，允许高效可靠的设备生产。