二手 ECD SuperMOLE Gold #9246156 待售

ECD SuperMOLE Gold是一款先进的晶圆加工设备，利用先进的化学和高功率的微波能量为晶圆基板表面提供了非凡的热剖面。该系统适用于所有类型的晶圆结构，从高长宽比结构到MEMS结构。该单元本身由几个部分组成，包括一个负载锁、一个中央处理单元、一个3轴运动机和一个真空室。负载锁允许一次最多加载二十四个晶片，每个晶片可以在加工开始前加热到特定温度。3轴运动工具在晶圆平整、抛光和表面计量等应用中提供了一系列的三维运动。真空室还配备了几个对温度、压力和光线敏感的传感器。SuperMOLE Gold的高功率微波能量采用先进的化学方法设计,为晶片基板提供卓越的热性能,比其他技术提供了更好的加热性能,与传统晶片处理系统相比,工艺时间减少了高达75%。它还能够在一小部分时间内达到高达1000 °C的温度。ECD SuperMOLE Gold背后的技术也允许晶圆在加工后立即快速冷却。这样减少了整个过程时间,从而大大提高了吞吐量,并消除了与传统晶圆处理系统相关的等待时间。SuperMOLE Gold还具有可编程的可重复脚本和实时数据监控功能。这一先进的晶圆处理资产还包括自动校准和安全升级，从而减少或消除了手动输入数据和编程的需要。总体而言，ECD SuperMOLE Gold是一种用途广泛、可靠且具有成本效益的晶圆处理模型，旨在改进晶圆处理的几个方面。与传统系统相比,实现高温和快节奏冷却时间的能力缩短了工艺时间。高级化学和自动化设置的加入也是使SuperMOLE Gold成为晶圆处理应用非常理想的平台的关键功能。