二手 ECSAL / AQUEOUS TECH YF-03 SUS #293643092 待售

ECSAL/AQUEOUS TECH YF-03 SUS是一种用于生产半导体器件的湿处理设备。该系统设计用于从装置基板上均匀、一致地去除颗粒、金属、光致抗蚀剂和杂质。它利用化学和物理过程相结合，以取得非同寻常的过程结果。该单元通过闭环技术运行，这种技术允许在多个过程中循环使用解决方桉。这有助于降低与浪费相关的成本,同时优化流程效率。该机器还设计用于尽量减少污染物，在过滤工具中加入额外的过滤介质，以帮助确保质量结果。资产的核心是一个独特设计的机柜，其中装有微机电系统，可控制模型的处理顺序和其他部分。这就是所谓的核心文件柜，旨在通过严格控制处理环境来保持过程的完整性和结果的统一性。它与过滤机柜结合使用,该机柜是设备的外部部分,用于过滤、回收和存储系统中使用的解决方桉。Core Cabinet和Filtration Cabinet都与该单元的软件（称为AFIX）集成在一起。此软件可帮助监控计算机的性能,并可识别需要微调以确保最佳流程的流程参数。软件还提供数据存储、执行控制和用户界面功能。通过包括ECSAL或客户提供的各种解决方桉,进一步加强了该工具,以便于从基板表面去除有害材料、颗粒、金属和残留光刻剂。这些解决办法，加上真空的使用，确保有效和一致地清除这类材料。总体而言,ECSAL YF-03 SUS资产是一种有效可靠的湿处理模型,它使用技术先进的组件和软件来确保质量半导体器件的统一结果和高效生产。内核机柜和过滤机柜的加入允许对工艺环境进行精密的控制和清洁溶液的高效利用。随着AFIX软件的集成，设备有助于监控和改进流程，从而产生一贯的高质量结果。