二手 ELMA 660H #9401119 待售

ELMA 660H是一种先进的自动晶片处理设备，设计用于IC晶片的全面和可重复清洗。该系统是一个四室、无触摸的C+S 400L模块，用于自动清洗IC晶片载流子。该模块是直径最大为6英寸的晶片的行业标准。660H为清洁和处理正面和背面安装的IC提供了全方位的技术、工艺和处理。ELMA 660H采用全封闭式单元,具有可调腔室氯浓度,提供从单面到双面批处理的完整工艺控制。660H的腔室大小确保晶片无论应用和表面积如何都能得到有效的处理。ELMA 660H具有湿式磨砂清洁室、脱熔室、能量增强的CMP（化学机械抛光）室以及延长接触式清洁室和干燥室。湿式磨砂清洁室设计用于在CMP处理之前清除颗粒和污染物。这一清洗过程消除了颗粒和其他类型的污染，否则可能会阻碍IC的性能。湿磨砂清洗后，用脱熔室清除晶片表面可能残留的任何残留物。能量增强的CMP腔室配有可调氯基浓度温度，为变化晶圆直径提供全自动、可重复和可编程的表面适应工艺。该腔室还能用于IC背面的原位多级CMP。最后，延长接触式清洁干燥室用于晶圆的最后冲洗和干燥，如果需要，包括额外的脱胶涂层。660H专为灵活生产而设计,使用自动化系统装载和卸载载波,并提供过程控制。此外，还可以在机器上添加一个可选的臭氧清洗模块，进一步消除晶圆表面的颗粒和残留物。此外,该工具还支持所有通用的数据跟踪格式,从而实现了完整的可追踪性和过程文档。综上所述，ELMA 660H是一种先进的四室C +S 400L自动晶片处理资产，设计用于综合和可重复的IC晶片清洗和处理。660H还具有可调腔室氯气浓度和用于装卸载具的自动化系统，还支持所有通用的数据跟踪格式，以实现流程可追踪性和文档记录。