二手 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500 待售

ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是专门为涂覆细腻晶片而设计的晶片加工设备,如铝、砷、氧化和硅制成的晶片,包含各种不同的层,用于集成电路、MEM、光电等应用。本机利用专利角轴承技术，通过旋转平衡基板和晶片，从而消除晶片表面的不均匀性和空隙。这样可以实现最大的涂层厚度与均匀性,提高工艺和成本效率.ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT使用带有可选附加头的免涂层头和定制的适应性,例如口罩定位,能够执行各种任务,包括保形涂层、焊剂涂层、薄膜沉积和纳米涂层,并具有高度的准确性和控制性。此外,由于涂层长度短、加速度和减速高,以及保持晶片质量、防止加工过程中过热或氧化的冷却技术,该系统可节省成本。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT还配备了在线计量和3D成像系统，以检测晶圆中的变形和缺陷。消除过程中的任何缺陷，单位可以保证高产量和产品均匀性。它还支持实时数据和对流程指标（如吞吐量、周期时间和缺陷率）的监控,以增强精度并实现在线流程优化。在此过程中还可以向操作员提供警报和触发器,以及遵守可追踪性和记录过程历史记录的法规。而且，该机融合了先进的连接平台等独特功能，同时最多8个基板与该工具同时兼容。所有这些特点都是为了提高晶片涂层关键应用的效率和质量而设计的。总体而言,ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是一项先进的晶圆加工资产,它提供精确、高质量的晶圆涂层功能,符合业界最高的标准。它用户友好、经济、能够满足最严格和最具挑战性的要求。