二手 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9143535 待售
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ID: 9143535
优质的: 2002
Wafer cleaner
(10) Stations
Software
Manuals: installation, operation, maintenance
480V, 3 phase, 100A, 82kVA
Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H
2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是一种自动化的其他晶片处理设备,旨在降低与生产多芯片或溷合组装应用相关的制造成本。它是一个多合一的机器,提供高精度晶圆处理和芯片安装技术在一个小巧和可靠的封装。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT可以处理小尺寸和标准尺寸的晶片,最大直径选项为8到20英寸,最大厚度在10到100 um之间。它具有用于检查小芯片细节的高分辨率成像针孔相机和用于控制晶圆放置和边缘配准的高精度步进电机。安装头无需额外的工具即可处理高达3毫米厚的晶片。ELMA HS350/100/300/6-ABS-WLT还具有自动晶片稀释和清洗站.该站采用两步法控制晶片厚度和去除晶片表面微粒。该系统还能够运行各种其他晶圆工艺,如蚀刻、研磨和研磨,并具有全功能加载和卸载自动化,以提高效率。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT晶圆处理单元利用高级软件功能进行编程、诊断和数据收集。它具有直观的触摸屏和用于快速编程的集成命令语言,非常方便用户。它还具有晶圆速度、晶圆压力、晶圆数和晶圆位置等工艺参数的实时监控功能,以确保高精度和一致的工艺结果。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT以高达每小时3500晶片的速度加工晶片,使其成为大批量生产线的绝佳选择。机器的灵活配置允许各种吞吐量,每个处理位置最多可容纳10个晶圆载波。这样可以灵活地处理不同类型的产品或扩展生产。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT是生产多芯片或溷合组装应用的高效可靠的其他晶片处理工具。通过其先进的成像传感器、质量检查和灵活的配置,它可以帮助降低与生产晶片相关的制造成本并提高总体生产率。
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