二手 ELMA X-tra Line 800 #293605217 待售

ELMA X-tra Line 800是一种"其他晶圆处理"设备，适用于超高真空和高温前/后清洗。它是一个自动化的单晶片处理平台，设计用于处理直径从150毫米到300毫米不等的晶片。该系统配备了强大的无刷电源，控制高压喷雾、刷子处理能力等清洁参数。它还具有高压等离子体能力和基体存储能力。设备可以使用蚀刻、沉积或清洁工艺来处理晶片。它的两个300 mm宽的加工室具有高压喷雾、刷子加工等能力。该机器配有一个控制器，能够在清洗前和清洗后过程中快速响应。该工具包括能够执行移动检查的高速扫描头。它还有一个光学显微镜，用于在清洗前和清洗后的过程中检查样品。该资产配备了符合人体工程学设计的微观定位模型，用于精确的晶圆放置和定位。X-tra Line 800可以在一个周期内执行多个处理步骤。它配备了先进晶圆检测设备（AWIS）和自动级运动控制（ASMC），用于增加工艺和晶圆控制。该系统设计方便维护，包含加热器、针头、螺线管和易于更换的过滤器等组件。此外，由于模块化设计，该单元效率很高，可为各种流程提供容量和灵活性。该机配备了灵活的过程监控工具，提供实时数据和趋势分析。总体而言,ELMA X-tra Line 800是一个自动化的单晶片处理平台,提供高速扫描和过程功能,以及高级晶片检查和自动舞台运动控制。适用于超高真空高温前/后清洗，具备强大的无刷电源、高压喷雾、刷子处理能力。该资产是为便于维护而设计的,其组件如加热器、针头、螺线管和易于更换的过滤器。