二手 EMC Spirit 30 IPA #9229741 待售

EMC Spirit 30 IPA（内联处理应用程序）是一种高度灵活、灵活的生产自动化设备,专为半导体和微电子制造而设计。该系统的模块化设计允许轻松集成到现有的半导体技术平台中。该单元由多个组件组成，包括机器人控制器、自动晶圆传输机和高精度晶圆处理单元。机器人控制器由一台采用多种控制算法编程的集成PC驱动。该控制器可以准确可靠地同步和控制整个晶圆传输工具，从而实现高效、精确的内部过程。机器人控制器的核心是机器人逻辑软件，该软件可实现复杂的晶圆处理操作，并可由操作员进行定制，以获得所需的处理结果。晶圆传输资产旨在以高度可靠和快速的方式将晶圆从一个处理步骤移动到下一个处理步骤。此模型由一系列预先编程的序列引导,并监视旅行路径,以确保传送到目的地。该设备采用PVC杆、装上的球式传动装置和线性执行器组合而成，可串联工作，确保晶片从原点安全高效地到达目的地。处理单元是处理实际目标晶圆的位置。这个单元由真空卡盘，以及一系列的加工室组成。"光学"室负责将晶片牢固地抓握和转移到目标晶片进行处理。"进纸器"腔内的片式进纸器允许同时完成多个晶圆传输。"过程"室包含多个物理和化学过程，在晶片加工过程中将材料蚀刻和沉积到晶片上。Spirit 30 IPA旨在提供耦合、切片、切片和其他精细的微电子过程。该系统的多种工具、机械运输和高精度处理能力使其成为任何半导体或微电子制造商的理想选择。它处理各种目标晶片和生产方法的能力使其能够很容易地融入现有生产线。