二手 ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643 待售

ENTEGRIS Ultra-6102是一种全自动晶片处理设备,旨在快速准确地处理各种晶片尺寸和类型。它能够处理多达300毫米的晶圆，并且能够进行大容量、高吞吐量的处理。该系统的设计具有一流的精确度和精确度，从实验室环境的研究应用到工业生产加工，适合各种应用。Ultra-6102由晶片装载机、晶片处理机、工艺头和微调组件组成。晶片装载机是真空驱动的单元，一次最多可容纳25个晶片。处理程序组件有一个多摄像机，能够检测和准确定位晶片准备处理。该工艺头配备了多种物理和化学加工工具。每个工具都是可独立编程的，能够对材料进行精确的蚀刻和沉积。旋转器组件也是可调的，可以快速准确地旋转晶片，高达22,000rpm。整个工具安装在移动平台上，可以方便地在生产线或地点之间移动。或者,资产可以配备系统内性能监视器来跟踪效率和输出。ENTEGRIS Ultra-6102是一种最先进的晶圆处理模型,能够在各种晶圆尺寸上提供精确的处理周期。对于精确度和效率至关重要的科学实验室和工业生产线来说，这是理想的选择。该设备易于移动,用途非常广泛,提供了前所未有的灵活性。