二手 ERNST PF 3300 #293650933 待售

ERNST PF 3300是一种晶圆处理设备，能够精确制造和处理高温硅晶圆。该系统旨在实现硅片上多种不同材料的沉积和蚀刻。它专门设计用于在执行晶圆稀释、背面研磨、湿化学蚀刻甚至氧化等过程时提供高度的精度、控制和可重复性。该装置的处理多种基板的能力包括硅、移动物、石英、GaAs和蓝宝石。晶片的尺寸从50毫米到300毫米不等，这台机器一次总共可以处理八个晶片。PF 3300采用机械臂设计,能够精确可靠地处理基片,从而实现材料的最佳蚀刻和沉积。该工具还具有惰性环境，可精确沉积和蚀刻薄膜。ERNST PF 3300的晶圆蚀刻室充满了氮气或氦气等惰性气体，其设计方便在精确的温度下对材料进行精确蚀刻。该腔室还配备了一个对超薄膜加工至关重要的温度控制资产。腔室是温度控制的，以防止晶片在蚀刻过程中的任何氧化。该模型还能够对晶片进行精密的背面研磨，包括金刚石圈，从而能够从晶片背面精确去除多余的材料。金刚石圈装在晶片支架内，以防止任何可能影响研磨过程的振动或震动。PF 3300是为高温硅片的具体处理而设计的强大设备。该系统具有强大的计算机控制机械，能够精确、可靠地处理各种材料。该装置配备了惰性环境和钻石研磨，增加了其多功能性，使用户能够根据具体的工艺要求量身定制操作。