二手 ESA Ultima Plus #9097308 待售

ESA Ultima Plus是一款最先进的晶圆处理设备，旨在为用户提供半导体制造的集成解决方桉。该系统建立在业界标准的Ultima平台上,并结合了精密驱动机构、控制系统、图像采集和视觉检查等多项功能。该单元包括晶片装载机、加热器、曝光后烘烤站和激光检测机。根据要求,某些工具（如临界尺寸扫描电子显微镜、电子束检查或蚀刻探测）可能会添加到设备套件中。晶片在受控的温度、湿度和压力下在专用环境中进行处理,以确保清洁和可重复的制造过程。该工具具有晶片对准和晶片粘附检测功能,可检测在加载或卸载过程中可能造成的任何缺陷。配准资产确保晶片在加工室中的配准，而粘贴检测模型检测和测量晶片与加工室之间的任何附着力。Ultima Plus还包括一个控制设备，用于自动映射和校准每一层的处理参数。还可以使用自动化数据记录系统来存储和跟踪每个晶圆的处理信息。这允许随着时间的推移优化流程,并通过在流程早期发现潜在问题大大减少了停机时间。此外，该单元还包括SPC（Statistical Process Control）等各种软件包，使用户能够监控生产性能和优化流程。这有助于提高产量和提高吞吐量。该软件还支持对设备性能进行远程监控，以便进行预测性维护和及早发现问题。ESA Ultima Plus是一个通用平台,可以定制以满足特定的用户需求。这台机器非常适合全行业的应用,旨在确保用户充分利用晶圆处理。