二手 EVERFINE PLUS 150 #9215487 待售
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EVERFINE PLUS 150是一种最先进的晶片处理设备,设计用于生产具有最小缺陷和碎片的高质量、均匀的晶片。该系统利用先进的晶片生产技术,如精密的自动固定和模具,以确保精确、可重复的操作。PLUS 150还设有高科技原位监控单元,实时跟踪工艺参数,以避免操作不当或物质条件造成的问题。EVERFINE PLUS 150採用自订晶圆处理机,设计来处理厚度范围为0.1-1.5mm的直径8英寸的晶圆直径。该工具采用两级热力机械工艺,包括多区预热段和编程温度坡道。此过程使资产在晶圆处理序列中获得晶圆表面的稳定平面度。此外,PLUS 150还具有光学布局,用于确保适当的激光对准,并最大限度地减小感应到晶圆材料中的应力。EVERFINE PLUS 150还配备了现场监控模型,可实时主动监控流程参数,并使用数据融合和模式识别工具快速检测任何意外事件或流程偏差。该设备通过短信和/或电子邮件在发生异常时向操作员和/或预定人员发送通知,以便采取快速反应和纠正行动。该系统还具有高精度清洁装置,采用超软刷洗、吸尘等多种清洁技术相结合,确保晶片上不残留任何异物颗粒和诱发缺陷的材料。PLUS 150上的清洁系统能够清洁高达0.3微米的晶片,也能有效去除典型的"下烘烤"颗粒和残留物。综上所述,EVERFINE PLUS 150是一台功能强大、用途广泛的晶圆加工机,经过精心设计,能够快速、准确地处理各种晶圆尺寸和厚度,且缺陷和碎片最小。该工具利用先进的自动化设备和现场监测系统,以确保精确、可重复的操作和尽量减少过程错误,同时提供高精度的清洁资产,以确保晶片表面清洁,供后续处理。
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