二手 GRANVILLE PHILLIPS 330 #9094144 待售

GRANVILLE PHILLIPS 330是为最佳薄膜晶片处理而设计的最先进的晶片处理设备。它采用气箱设计，保证了精密薄膜性能的卓越压力和温度控制。该设计还允许在整个蚀刻过程中方便地访问晶圆表进行快速采样,并能够逐步调整小至0.2埃的蚀刻深度。330包括一个可编程的高频射频发生器,可确保可靠的薄膜质量在功率级别6kW。该系统还具有用于精确温度测量的低压高温计，以及压力范围为10-7 Torr的真空单元。射频发生器和晶圆表都是可调的，以确保晶圆的最佳精度和良好的均匀性。该机的光机械级和软件为均匀蚀刻和精确配准提供了优越的晶圆对准。软件可以升级以支持额外的晶圆格式，因此GRANVILLE PHILLIPS 330可以用于不同类型的处理。该工具还允许批量处理,以更高的效率节省时间和金钱。330是为最佳安全而设计的,具有多种安全系统来保护操作员和基础设施。外部气体供应资产（EGSS）确保在发生电源故障时不会有危险气体进入腔室，而安全互锁模型则在活动设备和用户之间形成关键的屏障。该系统还配备了水流监测仪和紧急情况自动关机机制。GRANVILLE PHILLIPS 330是一款先进的晶片处理装置，设计用于生产性能一致的高品质薄膜晶片。其精确的特性和众多的安全系统使其成为实验室和工业应用的理想选择。此外,它处理多种格式的能力和批处理功能使其成为行业用户的一个有吸引力的选择。