二手 GREATSENSE GS-AIR-10 #293670974 待售

GREATSENSE GS-AIR-10是一种全自动、精密的晶圆加工设备,专为高吞吐量生产过程而设计。该系统提供了一系列功能,可提高总体吞吐量、效率和可靠性。GS-AIR-10能够在单个处理周期内处理多达10个晶片,从而实现高吞吐量生产。它的智能、自动化功能使您能够快速适应新的流程和产品,从而消除了人工干预。该单位由两个主要组成部分组成；龙门机器人晶圆处理程序和加工室。龙门机器人晶片处理程序是一种多轴机械臂，为晶片进出加工室提供精确的处理方式。龙门机器人可以设置各种配置，例如晶圆大小和方向，以便于处理不同类型的晶圆。该工艺室允许退火和烧结过程的温度高达1000 °C。它有一个整体式的低噪声真空机，允许调整到10-2 Torr的水平。该工具可根据客户需求进行定制,可选择特定于过程的夹具、晶圆传输元件、毯子盒等。GREATSENSE GS-AIR-10设计用于最大正常运行时间和故障分析。其控制资产具有实时数据记录功能，允许用户监控模型数据并快速识别和诊断故障。此外,它还具有先进的控制设备,具有用户可定义的参数,如热断裂率。它还能够实现快速降速的自动腔室压力均衡，以优化吞吐量，提高生产率和可重复性。该系统设计时考虑到安全和环境保护，并具有防爆设计，以增加安全保证。GS-AIR-10是先进半导体工艺的完美解决方桉,需要精确控制温度、压力,并且是晶圆处理的高效单元。对于增加的过程控制，机器可以配备自动晶圆位置对准工具，以保证精度。GREATSENSE GS-AIR-10提供高吞吐量处理和可靠的性能,使其成为大容量晶圆处理的理想选择。