二手 GREATSENSE GS-AIR-30 #293670976 待售

GREATSENSE GS-AIR-30是一种先进的基于等离子体的晶圆处理设备,专为广泛的应用而设计。其独特的设计特点是高真空室配有独特的感应耦合射频（RF）源模块以及先进的电子回旋共振（ECR）源，用于将不同的蚀刻/沉积过程集成在一个平台上。该系统为半导体和MEMS技术提供了高质量的处理解决方桉。GS-AIR-30单元能够提供高速、低温（<300 °C）的处理,并具有具有单个射频（RF）源的大动态等离子体参数范围。具有良好的基板温度均匀性和高加工均匀性，在多种基板上使用寿命长。这使用户能够为更复杂的3D应用程序获得更好的收益。高真空室是为便于清洁和维护而设计的，能够处理最大直径300毫米的基板，如硅片。工艺气体可以用双极或单频射频控制，随后使用ECR波在腔室中扩散。射频源可以产生范围广泛的射频频率，范围从低频（50 kHz）到高频（10 MHz）。该机器可支持单室和多室操作，并提供多种腔室选项，以满足特定的客户需求。刀具控制软件提供了几个功能来保证用户友好的操作，包括自动晶片传输、自动晶片加载/卸载、温度控制、背面冷却以及晶片逐个晶片过程监控。该资产还包括一个可选的射频屏蔽以及获得专利的ECR监测软件，用于在薄膜沉积和蚀刻过程中进一步监测等离子体参数。GREATSENSE GS-AIR-30通过最领先的国际安全标准认证，包括NFPA-70E（国家认可的测试实验室（NRTL））、ANSI/UL-1300（Underwriters Laboratories Inc.）和其他标准。它可用于一系列过程，包括：干蚀刻、剥离、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、原子层沉积（ALD）、溅射和离子植入底物。这种广泛的应用及其高度的自动化使GS-AIR-30成为半导体和MEMS行业各种应用的先进且经济高效的解决方桉。