二手 GREATSENSE GS-AIR-7 #293670957 待售
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ID: 293670957
System
Capacity:
Down line and space: 7 µm
Copper thickness/space: ≤ 1.6
Materials:
Substrates: FR4, FR5, BT, PI, ABF
Thickness of substrate: 20 µm
Thickness of copper: 0-50 µm
Efficiency:
Copper thickness: 18 µm
Defect size: 40 x 10 µm²
Time: 30 sec
Connectivity:
ORBOTECH
CIMS
Machvision
YMZ AOI
GREATSENSE AVI
Informational functions:
QR Code reading functions
Reports
MES
Defect maps / Heat maps
Board size: 760x680 mm²
Board thickness: 50-10000 µm
Penetration to laminate: ≤5 µm
Deviation from normal line width: ≤ ±10%
Re-inspection magnification: 25X-400X
Available with customer-specific automation functions
Power supply: 220 V, 4.5 kW.
GREATSENSE GS-AIR-7是为各种工业应用而设计的晶圆加工设备。它采用大气等离子体处理(APP)技术来实现高度的晶圆表面制备和清洁。该系统提供了可调等离子体参数的独特组合,使其成为用户首选的工具。GS-AIR-7有一个自动化的调试周期,使设备的设置和各种参数的调整变得简单快捷。该机配有坚固的工业级真空室,配有先进的等离子体加工部件,为加工提供安全高效的环境。GREATSENSE GS-AIR-7有一个独立的射频电源输出,允许用户调整等离子体参数以扩大功率范围。它还带有触摸屏界面,允许用户实时控制工具。该资产可用于各种应用,包括植入物活化、金属氧化物沉积、表面灰化、表面改性和清洁。总体而言,GS-AIR-7提供了一整套功能,例如可调等离子体参数、计算机控制的端点检测、错误报告、警报消息传递和自动调试,以提供直观高效的晶圆处理体验。GREATSENSE GS-AIR-7模型的设计具有耐用性和较长的使用寿命,它包含可靠和强大的等离子体处理所需的所有组件。它利用真空密闭室,为加工提供惰性气氛,有助于减少污染,最大限度地延长产生的等离子体的寿命。集成矢量网络分析仪帮助用户精确测量发射等离子体的振幅和相位特性。该设备在选择等离子体源方面也提供了高度的灵活性,使其能够适应各种应用。默认版本的系统配有双点矢量网络分析仪,用于测量线性和非线性状态下生成的等离子体参数。此外,还可以在单元中添加可选的高级等离子体源,以实现更高的精度和精确的清洗。GS-AIR-7支持多种过程,包括离子注入、消融、水洗、水合、蚀刻、退火、沉淀和原子层沉积。同样,风扇控制选项允许用户针对不同的目标基板优化工艺参数。此外,该机还配备了评估晶圆地形的晶圆映射功能,使该工具适合各种工艺应用。总而言之,GREATSENSE GS-AIR-7是一种高效的晶圆处理资产,可提供卓越的性能和高的处理速度。
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