二手 GUYSON KC2 #9181872 待售
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GUYSON KC2是由GUYSON集团公司设计开发的一种革命性的其他晶圆加工设备。它是一种经济高效、高效和精确的机器,用于制造不同形状和大小的晶片。KC2利用单金属轮毂提供最大刚度和稳定性,而其变速驱动则对晶圆的线性温度剖面提供精确控制,最高可达450°C。GUYSON KC2的控制器允许存储广泛的配方以及温度、压力和传输速度的程序。该系统配备了气体净化系统,能够控制气体输入的功率、数量和速度,从而保证真空室内在工艺前后的均匀气体分配。这样可以消除晶圆中的气囊,形成微真空区和岛屿。KC2提供出色的晶圆均匀性和可重复性。真空装置具有预处理能力,包括对压力进行微调以产生有效蚀刻的最佳条件,以及有效的真空控制。该机器可以很容易地集成到一个薄膜沉积工具,并需要最少的设置时间。获得高科技专利的晶圆重塑模块(WRM)可用于晶圆的成形和/或重新成形,真空设备保护(VEP)资产可确保保护晶圆和晶圆免受潜在泄漏。GUYSON KC2强调用户友好性和灵活性。晶圆加工参数,以及真空、气流和增压控制,在前面板上直接可见,使用用户友好的界面可以方便方便地调节。此外,KC2设计为与特定行业标准代码的使用兼容,以扩展配方内存和数据可追踪性。此外,该模型可以通过使用标准SPI界面与用户自己的控制设备集成,从而实现更复杂的操作和分发自动化。总体而言,GUYSON KC2是一个功能强大、可靠和高效的其他晶圆处理系统,使用寿命长。其高能效设计和线性温度曲线的精确控制使其成为半导体晶片精密制造的理想选择。
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