二手 HEATHWAY System #9028775 待售

HEATHWAY Equipment是一个多功能晶圆处理系统，使用户能够生产出效率卓越的优质半导体产品。这个HEATHWAY单元提供了最一致和可靠的结果。机器有四个基本部件：晶圆处理机器人、晶圆粘合室、清洁希思韦工具和热/机械加工室。晶圆处理机器人被设计成将晶圆精确定位在加工头上；还配备了防撞功能。晶片粘合室采用真空辅助工艺将晶片牢固地粘合在一起，确保了均匀性和可重复性。清洁资产利用高效过滤器和传感器减少与过程有关的环境污染。最后，热/机械处理室为用户提供对晶体生长、沉积、掺杂和其他过程的精确控制。HEATHWAY模型的体系结构旨在保持低维护成本。它利用多个自动化级别,允许通过图形用户界面监视和调整操作。设备采用模块化组件,用户可以轻松地升级和扩展其功能。HEATHWAY System还配备了广泛的安全功能,包括紧急关机单元和主动登录HEATHWAY机械。该工具旨在与各种材料和工艺兼容。它可以处理高达850°C的温度，并且可以处理砷化的、硅等材料。HEATHWAY Asset能够处理高达12英寸的晶片,并且一次最多可处理6个晶片。Model还配备了多种监控系统和接口，允许用户密切关注晶圆的进度。HEATHWAY Equipment是一个高效的晶圆处理系统,为用户提供高效的优质半导体产品。凭借其先进的设计功能,它可以提供一致和可靠的结果,从而将维护成本降至最低。