二手 HILGER & KERN Vario-mix A1 #9134137 待售

HILGER&KERN Vario-mix A1是一种自动化晶片处理设备,可精确控制用于全晶片处理、烘烤/退火和掺杂的所有基本工艺参数。该系统是为高效可靠地生产高端半导体晶片而设计的。Vario-mix A1具有全自动处理单元,每个托盘一次最多可容纳40个晶圆。晶片被轻轻地转移而不会损坏其表面。该机采用先进的控制算法设计，确保了一个可重复和可靠的过程。该工具的图形用户界面（GUI）使得编程和调整流程参数变得容易，使用户可以快速确定最佳设置。HILGER&KERN Vario-mix A1提供业界领先的晶体生长和掺杂工艺。集成的大功率脉冲退火（HPA）资产可同时对多达15个晶片进行统一和可靠的退火。采用延迟激光加热的先进工艺控制模型使晶片逐渐冷却，消除了热冲击的风险。HILGER&KERN设备具有可视化的分层控制和车载诊断功能,可提供最优质的产品。HILGER&KERN系统支持广泛的兴奋剂处理室，包括液体掺杂和蒸气掺杂方法，以及自动污染检查器。该装置还提供先进的监测系统，用于晶片的精确对准和定位。最后，Vario-mix A1采用真空泄漏检测器，防止潜在的过程污染。HILGER&KERN Vario-mix A1是一款市场上可用的高度可靠、安全且易于使用的晶圆加工机，旨在生产质量始终如一的先进半导体晶圆。该工具提供了广泛的高级功能和过程控制选项,以最大限度地提高效率,从而提高产量并优化生产时间。