二手 HONDA / HITACHI HUS-5 #9354061 待售

HONDA/HITACHI HUS-5是为钝化、退火、光敏灰化、介电蚀刻等工艺而设计的晶圆加工设备。它是一台高性能机器，能够在一小时内处理多达600个晶圆。该机还能控制压力、温度、时间等所有工艺参数。该机采用多种安全联锁装置，确保用户安全和过程控制。温度控制由PID控制完成，精度为0.1°C，最高运行温度为350 °C。再者，该机装有双向热风刀，遇到问题可快速停止过程。它还具有内置的自检功能,使其能够检测、警报和纠正操作过程中可能出现的任何问题。此外，该机配备了先进的清洗系统，利用紫外线和微波技术，确保了更清洁的加工环境。这一单元是由一个双区反射灯和一个加热器排气机，防止再污染进一步增强。该机还设计了一个高性能的等离子体腔室，这有助于保持腔室清洁和过程可重复和一致。为保证结果的均匀性，该机还配备了可调扫描电极、快门工具和独立的温度控制资产。这些特性使机器能够准确控制每个加工过的晶片的参数。为了保持最高质量，晶圆加工机还补充了集成软件模型。此软件具有一组用户友好的界面,可实现高效和直观的控制。它还允许一次运行多个程序，让用户最大限度地提高生产力和成果。总之，HONDA HUS-5是一种高性能晶片加工机，能够在一小时内精确可靠地处理多达600个晶片。其内置的温度和时间控制等安全特性，加上先进的清洁系统，使用户能够产生一致、高质量的效果。