二手 INMATEC IMT-PN 120 #9054107 待售

INMATEC IMT-PN 120是一种综合性、高精度的晶圆加工设备，专为先进的半导体加工而设计。该系统能够并行处理多达三个300 mm晶片，允许用户优化其生产吞吐量。单位由各自执行特定任务的个别模块组成；每个模块都是为高精度工作而设计的,并针对一致的操作进行了优化。IMT-PN 120的主要晶片处理模块是一个多头高级电镀室。这个腔室能够并行处理多达三个晶片，设计用于处理苛刻的蚀刻和清洁能力。它使用了一组蠕动泵来精确控制化学浴的流动，允许对被加工的晶片进行精确的电镀。采用可调电镀头，确保涂层均匀地涂在晶片上。INMATEC IMT-PN 120还包括一个多级清洁剂模块，用于在晶片进入电镀室之前对其进行清洁。该模块利用超声波搅拌和化学清洁剂的组合，彻底清除晶片中的任何污染颗粒。该模块还包括一个可调节的喷嘴设计，允许清洁过程的精确控制。IMT-PN 120配备了专用的晶圆映射模块，用于定位晶圆上的关键基板。该模块利用高度精确的激光扫描绘制出晶片，然后定位并标记晶片的任何关键区域。这台机器还包括一个石墨Asher工具，用于在电镀之前蚀刻晶片。它利用加热电阻元件，当与气体等离子体结合，蚀刻晶片在受控和时间有效的方式。INMATEC IMT-PN 120的最终模块是晶圆放电模块。该模块设计用于处理后快速、方便地去除晶片。该模块包括一个将晶片轻轻传输到可移动托盘的机制，允许从资产中取出无忧的晶片。总体而言，IMT-PN 120是一种先进的高精度晶圆处理模型，非常适合先进的半导体处理。利用针对特定任务而设计的各个模块,设备能够为一系列晶圆处理任务提供一致的结果,使其成为寻求高性能晶圆处理系统的用户的理想选择。