二手 ION SYSTEMS 6441 #293647163 待售
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ION SYSTEMS 6441晶圆加工设备是一种全自动、高产量的半导体器件制造工艺解决方桉。它被设计用来加工直径高达200毫米的晶片,尺寸从1/3 ″到8 ″,并行处理多达20个晶片。它提供一致、高质量的性能,能够执行各种晶圆处理功能,包括蚀刻、沉积、光刻和计量。该系统采用模块化设计,允许与现有的生产解决方桉进行定制和集成。6441配备了独特而强大的I/O单元,提供高吞吐量和快速的数据传输,减少了批处理和配方文件处理所需的时间。这台机器提供了对流程参数的精确控制,并且可以适应新的高级流程。它还为不同的工艺化学支持各种特殊气体和前体。ION SYSTEMS 6441还与领先的机器人技术、区域和集群工具系统集成,以实现生产线的完全集成和自动化。6441是一种可靠、可靠、准确的工具,具有多种传感器和诊断功能,可确保生产过程中的最终控制和准确性。它具有完全接地的工作面板和独特的模块化设计,允许自定义组件和空间配置。该资产提供高级功能,如自动配方生成、可编程逻辑控制器和机器人界面、高分辨率摄像头以及高级分析和诊断应用。该型号配备了先进的屏蔽和安保装置,用于安全和环境保证。ION SYSTEMS 6441设计方便操作,具有触摸屏显示、LED状态指示灯和直观的用户界面。它还为定制的过程自动化提供了Visual Basic脚本语言,允许快速编程并与新的和现有的生产解决方桉集成。它提供与远程I/O系统的无缝连接,使制造人员可以从任何位置监视和控制生产。总而言之,6441是一种可靠、准确的半导体器件制造工艺高产解决方桉。它提供了对过程参数的精确控制、增加的吞吐量、安全和环境保证以及直观的用户界面。设备配备了先进的屏蔽和安全装置以及自动化配方生成,允许与机器人、区域和集群工具实现无缝集成和自动化。它还能够支持特殊气体和前体满足不同的工艺化学条件。它为操作员提供生产最优质产品所需的精确度和灵活性。
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