二手 JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY / JAI LC908 #293603433 待售

JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY/JAI LC908是JAI先进的其他晶圆加工设备。它包括优化的设计,它结合了高性能材料、坚固的构造和先进的技术,以帮助确保集成晶圆处理能力。功能包括具有专用负载、预蒸发、反应和冷却阶段的多功能四室配置、0.1-700 Torr的高精度压力控制范围以及可配置的压力和温度设置范围,以优化过程控制。这些功能结合了直观的人机界面和先进的自动化，以促进一致、可重复的操作和可靠、高质量的结果。JAI LC908具有高吞吐量、大晶圆容量和高分辨率成像能力,以及一个易于直接开发工艺和配方的平台。该系统是为各种晶圆和材料设计的，具有平滑、一致的加工，以优化产量。关键特征包括利用红外技术的高分辨率热成像、具有超纯氧控制的惰性惰性环境、闭环温压控制以及动态过程监测分析能力。JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY LC908的独特设计包括0°C至400°C的温度范围，非常适合具有挑战性的材料和高温晶圆工艺。具有热成像反射率的热成像还可以实时监测和控制温度，确保最佳性能。真空由闭环压力控制单元维持，允许精确的过程控制。此外，机器的温度、流量、压力都可以在同一个腔室内调节。其他功能包括具有快速循环功能的自动装载/卸载工具和集成的轨道/购物车资产,可有效地装载、卸载和运输单个晶片。总体而言，LC908是一种创新、全面的晶圆处理模式，既强大又方便用户。高精度材料与先进工程相结合，在一定温度、流量和压力设置范围内提供了一致的可重复结果。该设备具有直观的控制、可靠的过程监控和自动化操作,是现代晶圆制造的理想解决方桉。