二手 JCM RC 100 #9103695 待售

JCM RC 100是一种晶圆加工设备，用于制造各种元件。该系统能够处理各种尺寸和晶圆构型的浆料、等离子体、相片或化学处理。它能够在同一单元上处理圆形和方形晶片。这台机器采用全自动传输机构，使晶片的装卸更加容易，移动也更加灵活。晶片被运送到工具内的特殊处理室。在加工室内，晶片接受多达6个加工步骤的组合，包括清洁、抛光、蚀刻和电镀。资产还包含一个四位振荡器组件，以进一步控制晶片的处理。这个振荡器组件能够以每分钟60个位置的点对点振荡，最大角度范围为8.5°。RC 100型号的其他特性包括一个微处理器控制的扩散器以确保晶圆的统一处理，以及多个过程控制单元以允许对整个过程的精确控制。设备的旋转载体进一步有助于确保晶圆的均匀处理。这种旋转载波一次最多可容纳8个晶圆，旋转速度高达2000 RPM。它还具有可调的高度设置，以适应不同的晶圆大小，并允许在每一批晶圆中进行统一的处理。系统还包含一个内部温度控制单元，使操作员能够为每个不同的工艺步骤设置温度限制。JCM RC 100机器有多个安全系统到位，以保证操作员的安全和晶片的质量。这包括压力监测工具、控制空气中颗粒的废气资产，以及避免潜在危险物质溢出的溢流保护。总而言之,RC 100是一种先进的自动化晶圆处理模型,可提供高度的灵活性、精确度和安全性。除了具有全自动传输机构和可调节的旋转载波外，它还能够处理不同尺寸和晶圆配置的浆料、等离子体、相片或化学处理。通过利用现有的多个过程控制单元和安全系统，操作员可以确保每次都取得一致和高质量的结果。