二手 JEOL TAM200XM-S #293649787 待售

JEOL TAM200XM-S是一种先进的其他晶圆处理设备,用于集成电路的原型制作和生产。由晶圆加工工具的主要制造商JEOL设计,TAM200XM-S是一个自动化系统,可处理多达200 mm的晶圆。它利用垂直、单级传输来携带晶片通过其多个工艺室，允许用户对各种基板进行一致的精确操作。它具有多种用户操作，包括蚀刻、沉积、离子植入、光刻图桉和热氧化等。此外,JEOL TAM200XM-S还为温度、压力和流量提供了高级控制措施和选项,从而为需要它的过程提供了高度的可调整性。该单元还能够集成激光干涉测量和基板加热器等各种支撑设备。机器有一个集成的CVC+平台，它为用户提供了从单个控制面板访问所有主晶圆处理功能的权限。CVC+还可用于自定义特定配方、设置周期时间、检查是否正确对齐和计算产量。此外,CVC+能够监控工具的运行状况,安排维护和分析数据,以排除在处理每个晶片过程中遇到的任何问题。最后，TAM200XM-S还采用了多种先进的计量能力，包括光学传感器资产（OSS）和湿式探针。OSS允许在晶片加工过程中对晶片进行过程中的测量,而湿式探针在晶片表面以密集的模式提供广泛的测量。这与JEOL TAM 200XM-S的可升级软件相结合,确保用户能够随时了解最新的行业发展。因此,TAM200XM-S为集成电路的原型设计和生产提供了先进的自动化处理解决方桉。