二手 KINETICS MegaFlow II #9160832 待售

KINETICS MegaFlow II是一种最先进的半自动晶圆加工设备，非常适合光刻、蚀刻、金属化、退火、电镀、扩散、清洁和组装等温度控制过程。该系统采用直观的界面和强大的处理器,旨在提供流畅高效的工作流程,同时尽量减少人工干预。该设备采用流线型平台设计,便于晶圆处理和盒式磁带操作,从而缩短周期时间并提高吞吐量。它能够支持多达4个7英寸6英寸或8英寸8英寸晶片托盘,并且一次运行最多可容纳80个晶片。该计算机还通过可现场更新的标准配置提供了高度的灵活性。MegaFlow II配备了精密的传感器和用于温度均匀性和过程控制的闭环反馈平台。它的模块化设计允许在晶圆逐个晶圆的基础上进行高水平的过程定制，还提供了更高的准确性、可重复性和鲁棒性。通过进程内腔室通信，工具自动检测、存储和调整每个腔室的过程控制轮廓，提供无与伦比的均匀性。该资产还进行了量身定制，以最大限度地提高晶圆级污染并将其保持在最低限度。KINETICS MegaFlow II凭借其洁净的内部空间和非易失性内存,非常适合超精度光刻。还包括一个集成软件包，它提供模型控制、数据采集、过程优化和基于时间的配方管理。使MegaFlow II与其他处理系统脱颖而出的是其环保设计。该设备具备低功耗认证,通过控制关键参数并通过可调整的警告/警报单元监控所有系统参数,还可以消除热失控的潜在风险。该机还设计为与各种液体和气体兼容，实现了最佳、可重复和安全的性能。最后,KINETICS MegaFlow II是当今最苛刻的温度控制过程的理想解决方桉。由于其创新的设计、快速的周期速率和可定制的配置,该工具能够提供可靠、安全和最佳的结果,从而提高了生产效率并提高了资产性能。