二手 KINETICS Megapure 6001 HC #9358271 待售

KINETICS Megapure 6001 HC是一款先进的晶圆处理设备,旨在在全自动、高度通用的配置中提供高吞吐量和卓越性能。该系统包括一个12英寸的高电流熔体（HCCM）反应堆和一个先进的结晶多喷嘴晶体生长单元，允许在范围广泛的温度范围内运行，从最高350°C到最低300°C。此外，一个12英寸的高电流基板和加热的载波级最多携带三个12英寸的基板，最多20 KJ/m2。6001 HC还配备了直列式液体输送装置,可精确输送整个过程控制所需的必要种子储备、介质、掺杂剂和热控制流体。密封的热室在过程中提供清洁，并用450瓦低热扩散加热器加热。此外，加热的表面级配备了一个快速锁定机器，允许晶圆和载流子的快速变化和对准。该工具还包括超灵敏质量流控制器（MFC）和用于精确超高温气流的5-十进制分辨率控制,以及多轴惯性力传感器。这些传感器能够在晶体生长过程中自动控制温度和速度，从而能够更快、更准确地加工晶片，并每小时生产多达500个晶片。6001 HC旨在提供卓越的性能,并结合一系列安全和环境特性。人机界面（HMI）的设计以及与晶圆厂工具、过程管理、验证和制造执行系统的完全集成使生产环境易于使用。毒性监测、过滤器和流体置换通知以及工艺变化监测等各种特殊特点确保了安全高效的工作环境。