二手 KOLB PS 03 #9353306 待售

KOLB PS 03是一种晶圆处理设备，设计用于其他半导体应用，如计量、薄膜沉积、包装、线键等高精度任务。该系统的构建是为了在大容量装配操作中提供可靠和准确的处理能力。PS 03由晶圆处理单元和高精度操作单元两个主要组件组成。晶圆处理单元由高精度压电执行器和旋转级组成，可精确、重复地定位和移动基板。这确保了晶片在加工过程中的精确对准，这对于高产量、高可靠性的生产是必要的。该机还结合了减振和温度控制，以便在恶劣的环境中精确运行。KOLB PS 03中的高精度操作工具使用精确调谐的微处理器提供快速、可靠和可重复的结果。它的数字控制板允许对各种参数进行编程，以便为不同的过程步骤定制操作。该资产还具有直观的用户界面,便于编程和操作。PS 03包含全方位工具，方便晶圆处理。使用静电夹头将基板牢固地夹紧到处理单元上，同时使用精密探针测量膜的厚度和电阻率。可以使用模型的集成等离子体火炬、铜沉积和CMP工具执行蚀刻、打孔和热扩散等工艺步骤。该设备还包括扫描电子显微镜等检查测试设备和其他非接触式计量工具，以检查加工后的晶片的准确性和质量。KOLB PS 03能够满足高容量、精密晶圆处理应用的需求。其可靠、准确的性能确保了高工艺产量和产品质量，使其成为半导体应用的理想选择。