二手 KOLB PS07 ST #293642590 待售

KOLB PS07 ST是一种先进的独立晶圆加工设备，专为半导体工业而设计。该系统用于广泛的应用，包括晶圆清洗和涂层、加工对准和光刻、湿化学蚀刻和干膜沉积。该单元的主要部件是真空工作室，通过密封来保持每个步骤的最佳压力和环境。该工作室采用不锈钢制成，提供高水平的耐腐蚀性和清洁性。该加工站包含晶片加工的必要设备，如晶片船，在烘烤、光刻涂层、曝光和开发步骤中将晶片固定到位。晶片可以用炉子或热板加热。曝光和开发周期由一个完全自动化的流程单元控制。机器人臂用于将晶片从一个加工站精确移动到另一个加工站，并能够高精度和重复性地进行操作。该机器还包括各种用于过程监测的标准传感器和仪器，包括在每一步中精确对准样本的集成视觉工具。视觉资产由光学传感器作为后盾，光学传感器检测晶圆船上晶圆的精确坐标，无需任何人为干预。KOLB PS 07 ST易于维护，提供了非常精确、可靠和可重复的性能。该模型可用于各种晶片加工应用，包括厚薄膜沉积、溅射、光刻和晶片键合。该设备特别适合于高精度部件的批量生产，确保完整的批量一致性和质量控制。