二手 KOMATSU MPG-300 #169315 待售

KOMATSU MPG-300是一种先进的晶圆加工设备，旨在提供高效、精确的晶圆生产。该系统配备了大容量载荷口、多个载荷板、多反射镜、气体处理单元、等离子体清洁机。负载端口最多可承载200个晶圆，大小多样。它还具有先进的控制工具，使用户能够在处理过程中控制晶片的精确定位和方向。对于数据通信，资产配备了FOUP（Front Opening Unified Pod）机器人模型和MPI（多媒体协议接口）界面，使用户能够从任何现有或新系统控制整体设备。此外，该单元还配备了人性化、菜单驱动的操作面板，使用户只需点击几下即可轻松执行必要的任务。机器的光学柱由自动聚焦工具、多种光学透镜和滤镜以及很少的光学百叶窗组成。这允许用户调整镜头依赖的视场，并适应特定的应用。而且，光柱支持多种成像技术，如亮场、暗场、荧光等。它还包括用于关键对准的LED和用于长距离工作的光学变焦。该资产采用自动装卸模型，以提高效率和减少人为错误。还配备了先进的气体处理设备，增强了系统的热稳定性和性能。这个单元有多种等离子体清洗过程，包括氧气定时蚀刻和纯Ar定时蚀刻。等离子体清洗机的设计是为了经济地清洁表面晶片，同时提供安全的工作环境。总体而言,MPG-300提供了高效、精确的晶圆处理解决方桉。它专为量产而设计，具有用户友好的操作面板、多反射镜、气体处理工具和等离子体清洗资产。各种成像技术和光学元件使用户能够针对每一个应用进行精确调整。而且，自动装卸模式，加上先进的气体处理设备，提高了效率，进一步有助于减少人为失误。