二手 KOMATSU MPG-300 #169319 待售
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KOMATSU MPG-300是一种顶级晶圆加工设备,旨在满足半导体行业的最高生产需求。它是一个全自动系统,为要求最苛刻的客户提供坚定不移的性能。MPG-300是一个在线解决方桉,它利用了当今市场上最先进的流程监控技术。KOMATSU MPG-300集成了负载锁定单元,从头到尾保持一致、统一的流程,从而确保了卓越的吞吐量和质量。该机器包含晶片级传感器,能够精确控制工艺参数,更好地控制蚀刻、沉积和溅射等关键工艺步骤。MPG-300工具还旨在提高吞吐量和缩短周期时间。其改进的活动包括加强对温度和压力控制的重视,加强检查模块,加强洁净室自动化,改进晶圆运输系统。它确保了卓越的准确性和可重复性,从而缩短了周期时间并最大限度地提高了生产效率。KOMATSU MPG-300还提供了多种工作选项,包括可选的机器人装载机/卸载机,以及对全自动自动装载机/卸载机的可选升级。通过广泛的模块化设计,可以将资产放大或缩小以满足客户的个人生产需求。此外,可选软件包允许操作员根据独特的流程要求自定义模型。MPG-300符合清洁和安全方面的所有国际标准。它配备了强大的安全系统,以保护和尽量减少对操作员和设备造成任何伤害的风险。它提供卓越的可靠性和耐用性与卓越的热控设备,空气轴承支撑组件,和低压强制空气冷却系统。KOMATSU MPG-300是任何晶圆处理单元的顶级解决方桉。它将先进的流程监控技术与各种各样的工作选项和可定制性相结合。这使得它成为最苛刻的生产要求的优越选择。
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