二手 KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF #293663639 待售
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KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF是一种用于半导体制造的高温晶圆加工设备。该系统利用先进的晶圆级加工技术,快速准确地形成氧化物图样,而不会损坏底层材料。GV1-20HAT-PF使用高温沉积方法在晶片上覆盖一层薄薄的材料,如二氧化硅或多晶硅。这是在高温炉中完成的,在高温炉中,基板被加热到850°C以上的温度。这样可以确保薄膜均匀地覆盖晶片,并在整个基板上形成一致的氧化物图样。一旦氧化物图样形成,KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF使用激光光刻技术将所需图样的图像投影到基板上。这样做的精度很高,以确保晶片上的特征精确对齐。GV1-20HAT-PF的另一个优点是热预算低。该单元采用低温、基于时间的短流程。这使底层材料的热蚀最小化,可以降低最终产物的产量。此外,低热预算导致晶片应力降低,保持其完整性和处理后的高性能。KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF的效率也很高,因为它允许晶圆吞吐量每个循环多达10个晶圆。这使得它成为大批量生产的理想选择。最后,GV1-20HAT-PF配备了一套全面的安全功能。这包括一个防止机器过热的温度传感器,以及一个监视腔室压力以确保其不超过允许限制的压力传感器。综上所述,KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF是一种高温晶片加工工具,利用先进的晶片级加工技术,快速准确地形成氧化物图样,而不会损坏底层材料。该资产具有低热预算、高吞吐量和全面的安全功能,是半导体制造应用的理想选择。
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