二手 LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000 #94149 待售

LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000
ID: 94149
Nitrogen generator, Part No.: 6AV6-545-OCC10X-OAXO Based on hollow fiber membrane technology Separates air into nitrogen and an oxygen-enriched air stream DS-PSA purification technology Nitrogen purity up to 99.999% Continuous read-out of flow and delivery pressure Manual adjustment of delivery pressure.
LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000是一种晶圆加工设备,设计用于广泛的工业和科学应用。该系统利用先进技术对晶片加工步骤的参数提供准确和精确的控制,同时利用基于真空的处理能力,可以提高对大量晶片的可重复性和高效率的处理。该单元由几个组件组成,每个组件都有助于机器的整体运行。特别的是,Sirocco 5000包含一个温度控制工具、一个温度测量单元、一个工艺室和一个用于加载晶片的晶片托盘。控制资产允许手动和自动操作。对于手动操作,操作员将能够手动调整温度、时间和压力设置。对于自动操作,模型能够响应编程到其中的设置点,从而保护用户免受任何可能导致结果不准确的手动错误的影响。测温单元集成到设备中,用于在处理过程中监控温度。该单元读取工艺室的温度,并能够根据需要进行精确的温度调整,以保持最佳温度水平。加工室是进行加工的容器。腔室通常由石英组成,允许红外辐射通过,能够维持高达600°C的温度。腔室包含几个端口,每个端口设计为容纳不同尺寸的晶片,允许同时处理不同尺寸的晶片。最后,晶圆盘用于加载、卸载和传输晶圆。晶片托盘采用特殊耐热铝制成,进一步提高了系统的温度稳定性。总体而言,NS Sirocco 5000是一个高度先进的晶圆处理单元,适合广泛的工业和科学应用。机器由几个组件组成,所有这些组件协同工作,以精确、精确的方式处理具有改进可重复性的晶片。该工具提供了先进的温度控制,并且可以处理高达600°C的温度,以实现精确和一致的处理结果。同时,晶圆托盘的使用为整个资产提供了高效、安全的晶圆传输。
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